洗浄装置および周辺機器

小型、薄型、軽量化していく各種半導体部品、電子部品に対して、高品位の洗浄を量産レベルで効率よく実現

1.洗浄装置

 洗浄剤パインアルファを使用して、洗浄対象毎に適した各種洗浄方式をラインナップ。

 荒川化学では、洗浄実験データを基に、最適な洗浄方式、最適な洗浄プロセスを提案します。

ダイレクトフォールズ ダイレクトフォールズ ・インライン型シャワー洗浄機
・狭隙間洗浄に優れる
 (30μm前後の隙間に適応)
・高スループット
薄型フリップチップ実装基板
インターポーザ
ダイレクトパス ダイレクトパス ・バッチ型ダイレクトパス洗浄機
 (荒川化学独自の方式)
・多品種量産に対応可
・部品裏洗浄に優れる
 (50μm前後の隙間に適応)
・高量産性
高集積化フリップチップパッケージ
各種電子部品
トルネードジェット トルネードジェット ・枚葉シャワー洗浄機
・薄型ウエハ、薄型基板に適応
ウエハレベルCSP(300mm径に対応)
インターポーザ

2.周辺機器

 洗浄剤パインアルファを使用して、効率よく洗浄を行うための周辺機器を準備。

純水処理

純水再生装置
PINEREC
純水再生装置PINEREC 仕上げリンス水の再生処理
リンス水浄化装置
PINECAT
リンス水浄化装置PINECAT プレリンス水に持ち込まれる
腐食原因物質となる酸、金属
イオン等の除去

濃度計

水分計
PINECON ACT-100
水分計PINECON ACT-100 洗浄剤:パインアルファ中の
水分濃度管理
(パインアルファ用)
洗浄剤・フラックス濃度計
PINECON PR-201α
水分計PINECON PR-200 洗浄剤中のフラックス濃度管理
リンス水中の洗浄剤濃度管理
(検量線付)
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